Fue desarrollado por el físico alemán Hans Busch en 1926 con un prototipo construido por Ernst Ruska y el ingeniero eléctrico Max Knoll en 1931. En 1933 Ruska construyó un microscopio de electrones (o EM), que superó a la resolución que se podría lograr con un microscopio óptico. Hoy podemos ver cosas como las partículas de óxido de zinc con más detalle que nunca.